国内湿法设备的主要供应商之一、至纯科技(603690.SH)子公司至微半导体(上海)有限公司(以下简称“至微科技”)获得国家队增持。

公告显示，至微科技将进行增资扩股，引入包括国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司(以下简称“大基金二期”)、中国国有企业混合所有制改革基金有限公司(以下简称“混改基金”)等在内的多名重要股东，合计对其增资4.2亿元。

长江商报记者注意到，本次增资中，至微科技整体估值25.02亿元，其合并口径下的归属于母公司所有者权益增值485.36%。获得增资后，上市公司还将转让部分所持至微科技股权，但仍持有至微科技控股权，此时至微科技的估值已经达到29.18亿元。

通过增资扩股引入核心战略投资者，至微科技旨在进一步加快实现成为国内湿法设备领头羊的战略目标。作为国内湿法设备的主要供应商之一，至微科技自2017年成立以来，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台。

今年上半年，至微科技实现营业收入2.81亿元，净利润1336.63万元，相较于去年全年已经扭亏为盈。

增资前估值25亿增值率超485%

大基金本月首次在A股出手增持。

10月18日晚间，至纯科技披露控股子公司增资扩股事项，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行股份转让。

本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.49454元/注册资本，本次深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业(有限合伙)(以下简称“远致星火”)、大基金二期、混改基金、中小企业发展基金(绍兴)股权投资合伙企业(有限合伙)(以下简称“中芯聚源”)、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙)(以下简称“装备材料基金”)、中青芯鑫鼎橡(上海)企业管理合伙企业(有限合伙)(以下简称“芯鑫鼎橡”)、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业(有限合伙)、上海芯晟至远企业管理合伙企业(有限合伙)合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。

长江商报记者注意到，吸引大基金、混改基金等国家队以及私募机构入股，至微科技在本次交易中也获得了较高的评估溢价。

本次增资前，根据收益法评估，至微科技股东全部权益价值评估值为25.02亿元，较其合并口径下的归属于母公司所有者权益4.28亿元增值20.75亿元，增值率485.36%。

本次增资的同时，至纯科技将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%股权以2.32亿元的价格转让给远致星火。以此估算，此时至微科技的整体估值已经达到29.18亿元。

上述交易完成后，至微科技的注册资本增加至5.31亿元，至纯科技依旧保持控股地位不变，持股比例77.11%。远致星火为第二大股东，持股比例10%，大基金二期及混改基金分别持股3.42%，中芯聚源持股1.71%，装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚分别持股1.03%。

值得一提的是，这也是A股上市公司本月首次披露大基金增持动向。在此之前，兆易创新、晶方科技曾披露，大基金一期分别计划减持两家上市公司不超过1%股份。

湿法设备快速发展新增订单4.3亿

在半导体的生产过程中，清洗设备尤为重要，可以让晶圆以最佳状态进曝光机，避免曝光机因晶圆背面缺陷问题(金属和颗粒)，把停机的时间降到最低。

虽然成立时间不长，但至微科技作为承载上市公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体，得到了产业投资者的重点关注。

自2017年初上市后，至纯科技就将有限资源全部投入到半导体业务中的湿法设备的研发和产能建设，同时投入资源将高纯工艺系统设备产能也扩充了两倍。其子公司至微科技就成立于2017年，主营业务为半导体湿法清洗设备的研发、生产与销售。

公司介绍，至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

截至今年上半年末，至纯科技整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。上半年新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。

此次为子公司增资扩股引入核心战略投资者，至纯科技也将进一步加快至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标。

随着半导体业务板块的持续发力，至纯科技的盈利能力大幅提升。2019年和2020年，公司分别实现营业收入9.86亿元、13.97亿元，同比增长46.34%、41.63%;净利润1.1亿元、2.61亿元，同比增长239.88%、136.36%。今年上半年，至纯科技实现营收和净利润9.2亿元、1.5亿元，同比增长76.51%、395.51%，业绩增速继续走高。

据公司披露，2020年至微科技实现营业收入2.03亿元、-1335.34万元。今年上半年，至微科技扭亏为盈，实现营业收入2.81亿元，净利润1336.63万元，上年同期，至微科技的营业收入和净利润分别为0元、10.9万元。(长江商报记者徐佳)